シリコン基板の孔開け及び鑽孔

陽極酸化によるシリコン基板のポーラス加工 マクロポーラス‐メゾポーラス‐ナノポーラス ポーラスシリコンウエハはシリコンウエハをクリーンなプロセスで陽極酸化処理して製作した多孔質基材です。耐熱性、耐薬品性に非常に優れており、無毒、無害で環境にも優しい基材です。 シリコン材料は生物親和性が高いという特徴から、バイオ分野やメディカル分野の研究開発にも最適です。 弊社では、ご指定の構造のポーラスシリコン層を形成したシリコンウエハの製造を受託いたします。 また、シリコンの陽極酸化を利用した他の技術についても、受託開発ないし共同開発という形で対応させて頂いております。 ナノポーラス‐メゾポーラス

ナノシリコン基板表面及び断面加工例

深孔加工 シリコンウエハに孔径1~3μφ、深さ10~100μm程度の深孔を自己組織的に加工した例
(自己組織的加工)
深孔加工
深孔貫通孔 厚さ300μm以上のシリコンウエハに貫通孔を多数開けた例。
孔径1~3μm、開口率60~70%
(自己組織的加工)
深孔貫通孔
シリコン基板をミクロン単位の多孔質 基板に加工したサンプル シリコン基板をミクロン単位の多孔質
ナノサイズ加工 ナノシリコンや
数nm~100nm程度の構造を自己組織的に形成した例
(自己組織的加工)
ナノサイズ加工
凹凸加工 シリコンウエハ表面に凹凸加工した例
0.1~10μm程度のフラクタル的な加工表面で光反射制御などに応用
(自己組織的加工)
凹凸加工

シリコン基板サンプルサイズ例

①外形20mm□、ポーラス部分15mmφ ①外形20mm□、ポーラス部分15mmφ
②外形4インチウエハ4分の1、ポーラス部分28mmφ ②外形4インチウエハ4分の1、ポーラス部分28mmφ
③4インチウエハ、ポーラス部分50~60mmφ ③4インチウエハ、ポーラス部分50~60mmφ

受託・製造開発


ポーラスシリコンウエハはシリコンウエハをクリーンなプロセスで陽極酸化処理して製作した多孔質基材です。耐熱性、耐薬品性に非常に優れており、無毒、無害で環境にも優しい基材です。
シリコン材料は生物親和性が高いという特徴から、バイオ分野やメディカル分野の研究開発にも最適です。
弊社では、ご指定の構造のポーラスシリコン層を形成したシリコンウエハの製造を受託いたします。
また、シリコンの陽極酸化を利用した他の技術についても、受託開発ないし共同開発という形で対応させて頂いております。

[ナノシリコン基材 表面構造例]
ナノシリコン基材 表面構造例

ナノシリコン基材 表面構造例
ナノシリコン基材 表面構造例


(1)ご提供するポーラスシリコンウエハ
ポーラス化する場合、例えば、サブミクロン径の穴を開けたいとか、ナノサイズシリコンの集積構造としたいなど、ご希望をお知らせください。
孔の直径は、最少10nm~からです。ポーラスシリコン層の厚さはご指定下さい。最少サブミクロンから最大厚さはご相談下さい。
ウエハー径はmax.4インチウエハです。そして、4インチウエハーの場合、その中央80mm径をポーラス処理したウエハです。(但し、ウエハー径は、ご要求仕様により決定させて頂きます)
使用ウエハの導電型と比抵抗は孔径などの構造により当社にて選択させていただきます。
導電型・比抵抗でご要望がある場合には、別途ご相談下さい。
(2)納期
1ヶ月程度を目標としますが、見積もりご提出時に明記いたします。
(3)お見積
下記見積依頼にて、ご希望のポーラスシリコンウエハの平均孔径、ポーラスシリコン層の厚さ、ウエハ枚数、をご連絡いただきますとお見積もりを返信させていただきます。

[見積もり依頼内容]
(1)お客様情報
①貴社名
②ご所属
③ご氏名
④メールアドレス
⑤電話番号
(2)受託製造仕様
①平均孔径など
②ポーラスシリコン層厚
③ウエハ枚数(含ウエハまたはチップ)
④ご要望納期
⑤ご要望・ご質問
メールにてのお見積もり・お問い合わせはこちらから
お電話でのお問い合わせ: 090-4226-2806

(4)使用ウエハー
基本的に、ご指定の孔径により弊社にて選択させて頂きます。
もし、使用ウエハについてご要望がある場合には、ご連絡をお願いいたします。対応を検討し、ご回答申し上げます。
(5)検査データ
標準としては、弊社サイトに掲載写真と同等と致します。

よくある質問とその答え

ポーラスシリコンウエハ受託製造について、よくある質問とその答えを掲載しています。
また、これ以外にもご不明な点等ありましたら、ご遠慮なくお問い合わせ下さい。

メールでのお見積もり・お問い合わせはこちらから
お電話でのお問い合わせ: 090-4226-2806

1)ポーラスシリコンとは?
シリコンウエハに微小な孔などを形成したウエハです、孔が自己組織的に形成されるため、孔の径の分布が制御されています。代表的な構造を、“技術紹介ーナノシリコン加工例”“技術紹介ーバイオ基材への応用”に記載しております。ご参照お願いします。
2)ポーラスシリコンの特徴とは?
シリコンウエハが素材ですので、生物親和性が高い(生物、生体材料との相性がよい)、耐熱性が高い、耐薬品性が高い、不純物が少ない、という特徴を持っています。ガラス質、金属やプラスチックスとは異なった性質をもっており、相補的なご利用も期待できます。また、多孔体(孔が多くある構造体)のため、熱伝導率が小さい、熱容量が小さい、という特徴もあります。
3)ポーラスシリコンの応用分野とは?
生物親和性が高いという特徴から、DNA、タンパク質の保持用基材、細胞培養用基体に好適と期待しております。応用のイメージを“技術紹介ーバイオ基材への応用”に記載しております。ご参照お願いします。